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    광주과학기술원 집적 시스템 공정 연구실home

    실험실 소개 이미지
    실험실 정보안내
    지도교수 정건영
    전공분류 지적설계 및 최적설계(Intelligent Design and Optimal Design),
    주소 광주광역시 북구 오룡동 광주과학기술원 신소재공학과 403호
    전화 062-970-2324
    홈페이지 http://alislab.com/index.html

    실험실소개

     

    최근 나노 미터 크기의 소자를 만들기 위해서 신뢰성 있는 패턴닝 기술을 필요로 하는 가운데, 현재까지 사용되는 주요기술인 노광공정은 해상도 면에 있어서 나노 스케일의 선폭을 구현하는데 한계를 가지고 있다. 집적 시스템 공정 연구실에서는 이러한 문제점을 해결 할 수 있는 새로운 리소그라피 기술을 이용한 다양한 나노 구조체 형성 방법을 연구하고 이를 실제 소자 까지 적용 시키는 연구를 하고 있다.
    나노임프린트 리소그라피는 100nm 이하의 패턴을 구현하는 새로운 리소그라피 방법으로 본 현재 본 연구실은 17nm 이하의 금속배선을 구현하는 기술을 보유하고 있으며, 이를 이용한 분자 메모리 소자, 포토닉 크리스탈 구조를 이용한 반도체 LEDs, solar cell등에 응용하는 과제를 수행하고 있다. 나노임프린트 리소그라피 외에 direct metal transfer technique, laser holographic 리소그라피, colloidal 리소그라피, phase shift 리소그라피, contact printing등 차세대 리소그라피를 할 수 있는 제반 기술과 장비가 있으며, 미세 먼지가 없는 분위기에서 실험을 할 수 있도록 클린룸을 설치하여 운영하고 있다. 

    연구분야

     

    * Nano lithography

    * Optoelectronics

    * Nonvolatile memory

    * Synthesis materials

    연구성과

    정건영, 김기석, 김진주
    산화아연 나노 구조체 전극 제조방법 및 이를 이용한 염료감응형 태양전지 제조방법
    KR1131218, 2012-03-21 , , Vol. 0, No. 0, pp. 0~ 0

    정건영, 최병연
    광 간섭을 이용한 미세 패턴 형성방법 및 이를 이용한 전자소자 제조방법
    KR1121168, 2012-02-21 , , Vol. 0, No. 0, pp. 0~ 0

    정건영, 김기석
    산화아연 나노구조체가 구비된 vertical 발광 소자 및 이의 제조법
    대한민국, 2010, Vol. 0, No. 0, pp. 0~ 0

    이재석, 정건영, 이정필, 김은욱, 강남구, 고행덕
    나노 입자를 함유하는 나노 패턴의 제조방법 및 전자소자
    대한민국, 2009, Vol. 0, No. 0, pp. 0~ 0

    정건영, 송선식, 김은욱, 정희수
    나노 크기의 규칙적인 수직 hole pattern 제조 방법
    대한민국, 2011, Vol. 0, No. 0, pp. 0~ 0

    서브 사이드

    서브 우측상단1