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  • 국내학술지

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    국내학술지 제목 게시판 내용
    제목(국문) 나노스템프 구동용 중공형 압전액추에이터 변위특성
    제목(영문) Displacement Characteristics of Hollow Piezoelectric Actuator for Driving Nanoscale Stamp
    저자 박중호 (Jung-Ho Park ,한국기계연구원 그린환경에너지기계연구본부 ) ▷공저자네트워크등록하기
    이후승 (Hu-Seung Lee ,한국기계연구원 그린환경에너지기계연구본부 ) ▷공저자네트워크등록하기
    윤소남 (So-Nam Yun ,한국기계연구원 그린환경에너지기계연구본부 ) ▷공저자네트워크등록하기
    함영복 (Young-Bog Ham ,한국기계연구원 그린환경에너지기계연구본부 ) ▷공저자네트워크등록하기
    ․장성철 (Sung-Cheol Jang ,한국폴리텍항공대학 항공메카트로닉스학과 ) ▷공저자네트워크등록하기
    초록

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    초록(영문)

    Nanoimprint lithography has been actively investigated, which can replicate nano-patterned master
    stamp into thin polymer film on silicon substrate and so on. In this study, a square-shaped hollow
    piezoelectric actuator is presented, which is newly devised for driving nanoscale stamp instead of
    conventional electric motor in nanoimprint lithography. The 95-layered prototype actuator is fabricated
    with the side lengths of 23mm and 18mm for outer and inner squares. By applying a novel process
    instead of conventional forming process to fabricate one layer actuator, the one layer is composed of 4
    rectangular segments produced by sawing a ceramic film with the thickness of 0.3mm. Basic
    characteristics on displacement and generation force of the fabricated prototype are experimentally
    investigated. Furthermore, displacement characteristics using PI controller are also tested and discussed.

    keyword Piezoelectric Actuator(압전액추에이터), Nanoimprint Lithography(나노임프린팅), Hollow Actuator(중공형 액추에이터), Nanoscale Stamp(나노스템프)
    저널명 대한기계학회논문집 A ▷관련저널보기
    VOL 10
    PAGE 1796-1800
    발표년도 2010
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    영문File
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