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    국내학술지 제목 게시판 내용
    제목(국문) 레이저산란패턴 기반 나노 래핑 표면 거칠기의 실험적 모델링 및 추정에 관한 연구
    제목(영문) Study on Experimental Modeling and Estimation of Roughness of Nanoscale Lapping Surface Based ou Laser Scattering Patterns
    저자 홍연기 (Yeon Ki Hong ,국립충주대학교 산업대학원 ) ▷공저자네트워크등록하기
    김경범 (G.B.Kim ,국립충주대학교 기계설계학과, kimgb@chungju.ac.kr ) ▷공저자네트워크등록하기
    초록

     본 논문에서는 나노 래핑 표면의 형상과 레이저산란 패턴 사이의 실험적 모델링에 관한 연구를 하였다. 우선, 반사표면에서 나타나는 산란광 속성들을 고찰하여 암시야 기반의 레이저산란 검사 메커니즘을 구성하였다. 이 메커니즘을 이용한 레이저산란 패턴 분석의 경우, 나노 래핑 표면 형상으로부터 산란된 레이저산란 성분은 불규칙하게 사선형태로 교차됨을 알 수 있다. 또한, 실험 계획법을 기반으로 도출된 매개변수로 적용된 최적의 레이저산란 영상에서 나노 래핑 표면 거칠기와 레이저산란 성분 사이의 상관관계를 회ㅟ분석법을 이용하여 수학적 모델링을 시도 하였다. 이 모델의 검증을 위해 나노 래핑 표면 3종류의 거칠기에 대해 50번의 반복실험을 수행한 결과, 제시된 수학적 모델은 실제 거칠기 값에 근접하게 추정할 수 있음을 보였다.

    초록(영문)

    In this study, a correlation between the roughness of nanoscale lapping surface and its laser scattering pattern has been identified experimentally. The characteristics of laser scattering on a reflected surface are investigated, and a laser scattering mechanism is newly designed by adopting the dark-field method. Laser scattering patterns resulting from nanoscale lapping shape are in the shape of crossed irregular lattice. In addition, optimum laser scattering images are obtained by the design of experiment, and the roughness of nanoscale lapping surface is estimated using regression analysis certain useful features of the laser scattering patterns. The results of fifty experiments on three types of nanoscale lapping surfaces show that the roughness of nanoscale lapping surfaces can be accurately estimated by the proposed mathematical modeling method.
     

    keyword Laser Scattering(레이저산란), Nano Lapping Surface(나노 래핑 표면), Surface Roughness(표면 거칠기)
    저널명 대한기계학회논문집 A ▷관련저널보기
    VOL 35
    PAGE 107-114
    발표년도 2011
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