본문 바로 가기

로고

국내 최대 기계 및 로봇 연구정보
통합검색 화살표
  • RecurDyn(리커다인)
  • 국내학술지

    282 0
    국내학술지 제목 게시판 내용
    제목(국문) 저온 선택적 원자층 증착공정을 이용한 유기태양전지용 AZO 투명전극 제조에 관한 실험적 연구
    제목(영문) Experimental Study on Fabrication of AZO Transparent Electrode for Organic Solar Cell Using Selective Low-Temperature Atomic Layer Deposition
    저자 김기철 (Ki-Cheol Kim ,한국생산기술연구원 나노오염제어연구실 ) ▷공저자네트워크등록하기
    송근수 (Gun-Soo Song ,한국생산기술연구원 ) ▷공저자 네트워크 보기
    김형태 (HyungTae Kim ,한국생산기술연구원 ) ▷공저자네트워크등록하기
    유경훈 (Kyung-Hoon Yoo ,회원, 한국생산기술연구원 자본재설비기술개발센터 냉동공조연구팀 ) ▷공저자네트워크등록하기
    강정진 (J. J. Kang ,한국생산기술연구원 미래융합연구그룹 ) ▷공저자네트워크등록하기
    황준영 (Jun-Young Hwang ,한국생산기술연구원 융복합기술연구본부 ) ▷공저자네트워크등록하기
    이상호 (Sang-Ho Lee ,한국생산기술연구원 융복합기술연구본부 ) ▷공저자네트워크등록하기
    강경태 (Kyung-Tae Kang ,생산기술연구원 생산시스템본부 청정설계기술팀 ) ▷공저자네트워크등록하기
    강희석 (Huiseok Kang ,한국생산기술연구원 첨단생산설비연구팀 ) ▷공저자네트워크등록하기
    조영준 (Youngjune Cho ,한국생산기술원 ) ▷공저자네트워크등록하기
    초록
    AZO(Aluminium-doped Zinc Oxide)는 기존의 LCD, OLED, 광센서, 유기태양전지 등의 투명 전극에 널리 사용되는 ITO(Indium Tin Oxide)를 대체하기 위한 물질로 주목받고 있다. 본 연구에서는 유기태양전지의 투명 전극으로 많이 사용되는 ITO 를 대체하기 위해 원자층 증착(ALD) 공정의 저온 선택적 증착 특성을 이용하여 유연성 폴리머인 PEN 기판상에 AZO 투명전극을 직접 패턴방식으로 제조하고, 그 투명전극의 구조적, 전기적, 광학적 특성을 평가하였다. 전기적, 광학적 특성 결과들로부터 원자층 증착공정의 저온 선택적 증착 특성을 통해 형성된 AZO 투명전극의 유기태양전지로의 적용 가능성을 확인할 수 있었다.
    초록(영문)
    AZO (aluminum-doped zinc oxide) is one of the best candidate materials to replace ITO (indium tin oxide) for TCOs (transparent conductive oxides) used in flat panel displays, organic light-emitting diodes (OLEDs), and organic solar cells (OSCs). In the present study, to apply an AZO thin film to the transparent electrode of an organic solar cell, a low-temperature
    selective atomic layer deposition (ALD) process was adopted to deposit an AZO thin film on a flexible poly-ethylene-naphthalte(PEN) substrate. The reactive gases for the ALD process were di-ethyl-zinc(DEZ) and tri-methyl-aluminum (TMA) as precursors and H20 as an oxidant. The structural, electrical, and optical characteristics of the AZO thinfilm were evaluated. From the measured results of the electrical and optical characteristics of the AZO thin films deposited on the PEN substrates by ALD, it was shown that the AZO thin film appeared to be comparable to a commercially used ITO thin film, which confirmed the feasibility of AZO as a TCO for flexible organic solar cells in the near future.
    keyword Aluminum-Doped Zinc Oxide (AZO), Atomic Layer Deposition (ALD, 원자증 증착), Organic Solar Cell (유기 태양전지), Poly-Ethylene-Naphthalate(PEN), Transparent Conductive Oxide (TCO, 투명 전도막)
    저널명 대한기계학회논문집 B ▷관련저널보기
    VOL 37
    PAGE 577-582
    발표년도 2013
    국문File 국문다운로드
    영문File
    • 페이스북아이콘
    • 트위터 아이콘

    서브 사이드

    서브 우측상단1