초록: 제작공정에서 소형화를 향한 트렌드는 작은 부품에 작은 모양을 측정하는 마이크로/나노 측정 능력에 대한 수요를 만들었다. 본 논문에서 우리는 이중-FBG (섬유 Bragg 격자), 지지되는 FBG 탐침 줄기, 그리고 섬유 기반 마이크로 볼 팁에 기반하는 마이크로 나노 변위 측정에 대한 스키마를 제안하고 시연한다. 이러한 스키마는 강인성, 민감도, 작은 크기와 큰 종횡비, 단순성과 경제성을 포함하는 장점을 갖는다. 예비 실험은 시제품이 10 nm 의 측정 분해능과 150 nm 의 비선형 오차를 산출한 것을 보였다.

초록(영문): The trend toward miniaturization in manufacturing has led to a requirement for micro/nano measuring techniques capable of measuring tiny features on small components. In this paper we propose and demonstrate a novel scheme for micro/nano displacement measurement based on a double-FBG (fiber Bragg grating) sensing structure, a suspended FBG probe stem and a fiber fused micro-ball tip. Such a scheme has some advantages including robustness, sensitivity, small size with large aspect ratio attainable, simplicity and economy. The preliminary experiments showed that the prototype yielded a measurement resolution of 10 nm and a nonlinear error of 150 nm.