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    국내학술대회 제목 게시판 내용
    제목(국문) 광학계 기반 산업용 정밀검사장비 기술동향 및 현황
    제목(영문) Technology Trend and Status of Optical System based on Industrials Precision Inspection
    저자 박준 (June Park ,한국광기술원 지능형광학모듈연구센터 ) ▷공저자네트워크등록하기
    초록

    4차 산업혁명으로 인해 스마트홈, 스마트팩토리, 스마트시티 등의 융합 산업이 대두됨에 따라 융합 산업을 구성하는 반도체, 디스플레이, 스마트폰, 2차 전지 등 제조업 분야 역시 인공 지능, 머신 비전, 딥러닝 등의 신기술이 적용되고 있다. 정밀검사장비는 제조업을 포함한 모든 산업 분야에서 소재, 부품 및 장비에 이르기까지 전 공정에 적용되기 때문에 신기술이 적용된 정밀검사장비에 대한 정보는 융합 산업 및 시장에 대한 이해의 폭을 넓힐 수 있는 단서를 제공한다. 기존의 정밀검사장비는 비전검사장비와 같이 2D 광학계를 기반으로 단순히 대상물의 불순물 및 표면 검사를 하는데 그쳤지만, 최근에는 3D 광학계를 기반으로 대상물의 불순물 및 표면검사뿐 아니라 3차원 구조 분석이 가능하다. 또한 인공지능이 결합된 AOI (Automated Optical Inspection)을 채용함으로써 머신 비전을 위한 무인 자동화 일괄 검사 공정 시스템이 구축되고 있다. 특히, 디스플레이 분야에서는 디스플레이 패널의 대형화에 맞춰 라인 스캔 광학계 및 고속 카메라를 통해 검사효율을 높이고 있으며, 반도체(PCB 실장 포함) 분야에서는 3차원 형상 및 구조 측정을 위하여 3차원 광학계를 기반으로 하는 3차원 정밀검사장비가 적용되고 있다. 3차원 정밀검사장비는 일반적으로 삼각측량법(triangulation), 공초점 기술 (Confocal microscope), 모아레 패턴(Moire pattern), 백색광 주사 간섭계 등의 기술 등이 적용되고 있으며, 최근에는 Topography를 기반으로 하는 3차원 정밀검사장비도 개발되어 공정에 적용되고 있다. 이번 키노트 세션에서는 이와 같이 광학계를 기반으로 하는 정밀검사장비의 최신동향 이슈 및 시장 동향에 대해서 이야기 하고자 한다.

    저널명 한국정밀공학회 추계학술대회 ▷관련저널보기
    VOL 20
    PAGE Keynote_1
    발표년도 2020
    원문파일 국문다운로드
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