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    국내학술대회 제목 게시판 내용
    제목(국문) 양극산화공정시 온도계수변화에 따른 포어 생성의 영향
    제목(영문) Properties of pore generation by variation of temperature in AAO process
    저자 신홍규 (H Shin ,강원대학교 (rushhong@kangwon.ac.kr) ) ▷공저자네트워크등록하기
    권종태 (J Kwon ,강원대학교 ) ▷공저자네트워크등록하기
    서영호 (Y Seo ,강원대학교 ) ▷공저자네트워크등록하기
    김병희 (B Kim ,강원대학교 ) ▷공저자 네트워크 보기
    초록 In this paper, we present the affection of pore generation with respect to variation of temperature
    in the anodic aluminum oxidation(AAO) process. In conventional AAO methods for aluminum bulk
    sheet over 25mm, mild anodizing method with low anodizing voltage at 40C temperature has usually
    been used. However, it is required to have a long processing time for mass production. In this
    paper, we suggested the hard anodizing method by low temperature for aluminum thin film of Imm.
    Through various AAO experiments with respect to the variation of temperature, pore diameter and
    inter-pore(between pore and pore) distance at large area can be determined. In order to analysis
    the pore generation, FE-SEM was measured. Pore diameter and inter-pore distance are about 200nm
    and 250nm. Finally, concave nano-structures with various diameters can be successfully obtained
    after etching process to remove selectively AAO layer.
    keyword hard anodizing, low temperature, thin film
    저널명 한국공작기계학회 추계학술대회 ▷관련저널보기
    VOL 8
    PAGE 371-374
    발표년도 2008
    원문파일 국문다운로드
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