제목(국문) | 335㎛ UV 레이저를 이용한 음성PR의 마이크로렌즈 어레이 제작 |
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제목(영문) | Fabrication of Micro Lens Array on Negative Photo-Rsist by 355㎛ UV Laser Irradiation |
저자 |
제순규
(S. K. Je
,부산대학교
)
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박강수 (K. S. Park ,부산대학교 ) ▷공저자 네트워크 보기 박상후 (S. H. Park ,부산대학교 ) ▷공저자네트워크등록하기 고종수 (J. S. Ko ,부산대학교 ) ▷공저자 네트워크 보기 오재용 (J. Y. Oh ,SFA Engineering Corporation ) ▷공저자네트워크등록하기 신보성 (B. S Shin ,부산대학교 ) ▷공저자 네트워크 보기 |
초록 | Abstract not available for this article. |
keyword | micro lens array, negative photo-resist, 355㎛ UV laser |
저널명 | 한국정밀공학회 춘계학술대회 ▷관련저널보기 |
VOL | 8 |
PAGE | 797-798 |
발표년도 | 2008 |
원문파일 |
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