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원자층 어닐링을 이용한 높은 결정성의 Rutile-TiO2 형성으로 Ru/TiO2-ZrO2-TiO2/Ru 금속-절연체-금속 캐패시터의 높은 성능 개선
이승현, 안지환, 고도현, 김근회(나노종합기술원)   |  2021-11-25
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